기가포톤, 최대 출력 규모의 KrF 레이저 G45K 출시

2019-02-22
박종배 기자, jbpark@elec4.co.kr

장치 내 주요 모듈의 수명 20% 연장, 유지보수 위한 다운 타임 대폭 절감
기종보다 25% 이상 출력 높여 최첨단 메모리 칩의 보다 고효율적인 생산 가능

기가포톤 주식회사가 2019년 3월부터 세계 최대 출력 규모의 KrF G45K 레이저 출하를 개시하여 최첨단 메모리 칩의 생산 효율화에 더욱 더 공헌한다고 발표했다.

최근 IoT와 AI의 보급으로 전 세계의 정보 데이터량은 지난 몇 년 사이 10배로 증가했다고 한다. 이에 대응하기 위해 칩 제조업체는 고집적 최첨단 메모리 칩의 생산성 향상에 힘쓰고 있다. 리소그래피 공정에서 광원이 되는 KrF 레이저의 출력이 생산성 향상에 직접적으로 기여하므로 고출력화의 실현이 기대되고 있었다.

기가포톤의 KrF G45K 레이저는 이에 부응하기 위해 기존 기종보다 25% 이상 출력을 높인 50W를 실현하여 최첨단 메모리 칩의 보다 고효율적인 생산을 가능하게 한다.

또한 장치 내 주요 모듈의 수명을 20% 연장시켜 유지보수를 위한 다운 타임을 대폭 절감한 것도 생산성 향상에 기여하고 있다. 또한 기가포톤의 그린 테크놀로지는 기존 기종과 마찬가지로 ‘헬륨 프리’를 표준 탑재하고 있고 ‘hTGM(네온 가스 재활용 시스템)’도 대응 가능한 상태이므로 운영 비용 절감에도 효과적이다.

기가포톤 대표이사 사장 겸 CEO인 우라나카 카츠미 씨는 “IoT와 AI가 급속히 보급되는 가운데 고객사인 칩 제조업체에게 최첨단 메모리 칩의 생산성 향상이 급선무라고 생각하고 있다. 기가포톤의 KrF G45K 레이져가 실현한 세계 최대 규모의 출력과 모듈 수명 연장을 통한 다운 타임 절감은 고객사의 효율적인 생산에 공헌할 수 있다고 확신하고 있다”고 말했다.

#반도체 #부품

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