[특집] 파워반도체상용화센터 "SiC 파워반도체 산업 헤드쿼터 기대, 기술과 장비 모두 갖춘다"

2020-05-07
신윤오 기자, yoshin@elec4.co.kr

파워반도체상용화센터는 어떤 곳

파워반도체상용화센터(센터장 김동수)는 전력소자의 연구개발, 양산 및 신뢰성 인증까지 파워반도체 산업의 거점 기관 역할을 수행하고 있다.

재단법인 부산테크노파크 클린테크 기술단 소속으로 현재 장전 및 장안단지 2개소를 운영하고 있다. 지난 2004년 신설된 MEMS/NANO부품생산센터가 그 시작으로 2017년 7월 파워반도체상용화센터 장전단지를 구축했고 2019년 10월 파워반도체상용화센터 장안단지를 건립했다.



센터는 주요 기능은 크게 4가지다. 먼저 ▲SiC 파워반도체 산업 헤드쿼터 수행을 그 목적으로 하며 ▲산학연 공동 R&D를 통한 신규사업 기획 ▲인프라 활용을 통한 기업지원서비스 ▲파워반도체 전문인력 양성 및 산업 활성화 등이다.

이를 위해 현재 센터는 다양한 사업을 수행하고 있다. 센터가 진행하는 사업은 ▲SiC 파워반도체 연구플랫폼 구축사업(’17~’23) ▲파워반도체 신뢰성평가 인증센터 구축(’19~’22) ▲1200V 트렌치형 MOSFET 소자 개발(’17~’21) ▲전력반도체 인력양성 사업(’20~’25) ▲파워반도체 종합기술 지원사업(’19~’22) 등이 대표적이다.

주요업무도 장비구축과 인력 확보, 위탁 생산이 주를 이룬다. 장비는 일괄 생산 장비 28종(장전 23종, 장안 5종)을 구축하였고 나머지 인력 확보와 위탁 생산도 확대하고 있다.

센터는 한계 생산량(주간 300장/월)을 조기 도달할 것으로 보여 확장할 필요성이 있다. 보통 SiC 핵심장비 도입 시 시작부터 약 1년 이상 구축 기간 소요되며 클린룸 및 유틸리티 등 생산설비 구축 시 약 2년 이상 구축 기간이 걸린다. 이에 시설 확충으로 국내외 파워반도체 산업 발전의 핵심적 역할 수행하길 기대하며 수요기업 유치를 통한 유관산업 집적화로 파워반도체 기술경쟁력을 강화할 계획이다.

SiC 일괄공정 28종 장비 보유

파워반도체 상용화센터 장전단지는 2019년 12월 SiC 일괄공정 28종 장비 구축·운영하여 2020년 2월 SiC파워소자 위탁생산 4건 수주 및 생산하였다.

파워반도체 상용화센터 장안단지는 2019년 12월 SiC 후공정 5종 장비 구축·운영하여 2020년 2월 파워반도체 신뢰성 장비 15종 구축 중이다.

보유 기술은 올해 600V 이상의 고내압 다이오드(Si SBD 200V)를 확보하고 2021년에는 Si MOSFET 대비 3배 이상의 저손실 및 고속 동작이 우수한 DMOSFET 기술 확보, 2023년에는 DMOSFET 대비 50%의 ON저항 감소(80mΩ → 40mΩ) 및 스위칭 손실 42% 감소 효과가 있는 TMOSFET 기술을 확보하는 것이다.

센터 측은 현재, 장안단지 활성화를 통한 국내외 파워반도체 기술경쟁력 확보한다는 방침이다. 향후 장안단지 SiC 28종 복수장비를 구축, 1200V SiC DMOSFET, TMOSFET 제작 기술을 확보하여 6인치 웨이퍼 1000장(월)을 생산할 계획이다.
 

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